クリーンルーム機器

クリーンエア供給装置

外部エアーをブロアで吸引し、高性能(HEPA)フィルタを通じてクリーンエアを対象空間などに供給する装置です。循環使用も可能です。

クリーンエア供給装置とは、大気中のエアーをブロアで吸引し、HEPAフィルタを通ったクリーンなエアをダクトホースなどで対象空間に供給する装置です。天井吊型FFU(ファンフィルタユニット)と異なり、ダクトを通じてのクリーンエア供給となるため振動が少ない、循環使用も可能、強い風速(13m/s)のクリーンエアを吹き込めるメリットがあります。クリーンベンチや、クリーン度が求められる装置・生産ライン等で便利にご使用いただけます。

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特長

コンパクト設計
キャスター付で、移動・設置が容易です。使用する場所へ手軽に持っていくことができます
オールステンレス
筐体はステンレスを使用しています。錆に強く、発塵がありません
豊富なオプション
循環用ダクト板、差圧計、活性炭フィルタなど便利なオプションを取り揃えております

ファンフィルターユニット(FFU)との違い

振動がありません
FFUは本体を直接取り付けるため、装置やワークに微細な振動が発生しますが、クリーンエア供給装置はダクト接続のため振動がありません
強い風を吹き込めます
FFUは広面積で弱い風ですが、クリーンエア供給装置は強い風(Φ75で風速13m/s)を吹き込めます
活性炭フィルタを挿入できます
FFUはHEPAフィルタのみですが、クリーンエア供給装置は活性炭フィルタも挿入できます。これにより臭い成分の除去にも役立ちます

用途

クリーンベンチに接続
試験空間にクリーンエアを吹き込みたい時に便利です
機械装置接続
半導体検査装置、洗浄装置など、クリーン度が求められる機械装置に便利です
生産工程のワーク内接続
レーザーマーカー使用時などにワークの中をクリーンに保つことができます
クリーンエア供給装置

構造

  • フィルタ…0.3μmまでの粒子を99%以上捕集
  • 活性炭シート(オプション)…臭い成分を捕集
  • プレフィルタ…一般再生用フィルタ
  • ブロア…DC静音ブロア
クリーンエア供給装置

仕様

製品名 クリーンエア供給装置
型式 KSC-CA3
外観 外観
外形寸法(mm) W300×H395×D440
処理風量/風速 3.6m³/min、13m/s
騒音値(dB(A)) 65(推定)
構成 プレフィルタ
ブロア
活性炭シート(オプション)
HEPAフィルタ
平均捕集効率 0.3µmまでの粒子を99.97%以上捕集
電源 AC100V 50/60Hz
消費電力 90W(50/60Hz)
重量 14kg
本体材質 ステンレス
噴出口 Φ75用

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消耗品

品名 型式
交換用プレフィルタ PS-150-255
交換用HEPAフィルタ KSC-CA3-HP
交換用活性炭シート KSC-CA3-UFP

※ プレフィルタは5枚入となります。 ※ 活性炭シートは2枚1セットとなります。

オプション

オプション付本体品名 型式
本体+差圧計仕様 KSC-CA3-P
本体+吸気ダクト板仕様 KSC-CA3-D
本体+吸気ダクト板・差圧計仕様 KSC-CA3-DP

 

品名 型式
硬質ダクト(Φ75X2m) KSC-HOP01
ダクトバンド(Φ75用) KSC-BOP01

 

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